退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(cháng)的薄膜的狀態(tài)，修復注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或將摻雜劑從一個(gè)薄膜轉移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專(zhuān)門(mén)為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業(yè)爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60%。

熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調質(zhì)爐，主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應力退火、時(shí)效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風(fēng)循環(huán)。退火爐是一種新型換熱設備。退火爐是節能型周期式作業(yè)爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60%。

退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺車(chē)用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。

退火爐傳動(dòng)部分：臺車(chē)傳動(dòng)采用電動(dòng)機、減速機通過(guò)鏈條帶動(dòng)前端一組主動(dòng)輪傳動(dòng)。爐門(mén)傳動(dòng)是采用蝸輪減速機和電動(dòng)機組合電動(dòng)升降。

密封：臺車(chē)與爐體密封采用迷宮式結構，并在臺車(chē)兩側有自動(dòng)沙封刀密封裝置。爐門(mén)密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動(dòng)機構密封該爐爐體部分采用優(yōu)質(zhì)耐火磚結構，保證爐膛密封性。在臺車(chē)耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。

退火爐燃燒系統：在油爐兩側各安裝數只燒咀，熱流在爐內往復循環(huán)，確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動(dòng)型和半自動(dòng)型。

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